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一體化振動(dòng)溫度傳感器的關(guān)鍵測(cè)試點(diǎn)

發(fā)布時(shí)間: 2021-12-20  點(diǎn)擊次數(shù): 583次
  一體化振動(dòng)溫度傳感器是指通過集成振動(dòng)傳感芯片和溫度傳感器芯片,按應(yīng)用需求進(jìn)行封裝和信號(hào)輸出的一種復(fù)合型傳感器變送器。
 
  基于傳感器測(cè)量時(shí)輸入單一靈敏度,用于描述在一定的頻響范圍內(nèi),傳感器的靈敏度是否滿足實(shí)際的靈敏度的指標(biāo)就是線性度。相對(duì)來看,在低頻段,傳感器的靈敏度會(huì)少于實(shí)際的靈敏度,而在高頻段,則靈敏度會(huì)大于實(shí)際的靈敏度。只有在中間頻段,靈敏度滿足線性關(guān)系。如果傳感器不在線性區(qū)間,所以測(cè)量得到的幅值會(huì)誤差較大,一般來說要求傳感器非線性<1%。
 
  在測(cè)量某個(gè)方向的振動(dòng)時(shí),理論上信號(hào)輸出應(yīng)為振動(dòng)感知方向,但實(shí)際上在與該方向垂直的方向也有信號(hào)輸出,從而形成了一種干擾,這種效應(yīng)稱為橫向效應(yīng)。橫向效應(yīng)靈敏度越低,傳感器性能越好,但通常,一體化振動(dòng)溫度傳感器都存在一定的橫向效應(yīng),國標(biāo)的要求是橫向靈敏度應(yīng)<5%。
 
  由于傳感器自身也屬于一種結(jié)構(gòu),所以也有它的固有頻率。一般把傳感器的第壹階固有頻率叫做諧振頻率。傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸越小,諧振頻率越高。振動(dòng)傳感器的使用上限頻率取決于幅頻曲線中的諧振頻率。一般要求>20kHz。
 
  一體化振動(dòng)溫度傳感器關(guān)鍵測(cè)試點(diǎn):
 
  1、線性度;
 
  2、橫向靈敏度;
 
  3、諧振頻率;
 
  4、頻響特性;
 
  5、溫度測(cè)量精度;
 
  6、溫度測(cè)量響應(yīng)時(shí)間。
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